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HVA 矩形阀 88200 系列
上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀，可靠使用寿命超过1百万次。HVA 闸板阀专用于真空相关系统，起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小，设计紧凑，可靠应用于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与工艺腔室（process chamber）等等，需要分隔真空压力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末，颗粒，防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口，或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
HVA 88200 系列矩形真空板阀技术参数
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连接形式： |
标准或定制法兰 |
|---|---|
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主体材料： |
铝 |
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公称通径： |
DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
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漏率: |
2x10E-9 AtmCC/Sec |
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压力范围: |
1x10E-9 Torr |
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烘烤温度: |
《150℃ |
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适用介质： |
水、蒸汽、空气 |
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密封形式： |
软密封型 |
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驱动方式： |
气动 |
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使用寿命: |
1000000 启闭次数 |
28200＆88200系列矩形真空板阀订货号及2D & 3D 图
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DN |
Model |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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mm |
inch |
Number |
J (Bolted Body) |
K (Clamped Body) |
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32 x 220 |
1.26 x 8.74 |
28212-0109RX_ |
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32 x 332 |
1.26 x 13.07 |
28212-0113RX_ |
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|
46 x 236 |
1.81 x 9.29 |
28212-0209RX_ |
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|
50 x 336 |
1.97 x 13.23 |
28212-0213RX_ |
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HVA 28200＆88200 系列矩形真空板阀部件图
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