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Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA
上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA, 操作简单, 便携设计,集成涡轮分子泵组 HiCube 80 Neo 和四级杆质谱仪 QMG 250, 客制化选择. 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA 适用于压力范围从大气到高真空的应用, 如真空镀膜, 真空炉, 冷冻干燥和科研.
Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA 配置可选
气体分析 PrismaPro: 3种质量量程, 探测器, 2种灯丝材料
质量数(量程) |
1-100, 1-200, 1-300 u |
入口 |
Evn 116 或闸阀或全金属阀 |
人机交互 |
7英寸触摸显示器 |
总压力测量 |
数字真空计 MPT 200 AR 或 HPT 200 AR |
检测限 |
3…5E-15 hPa |
尺寸 |
583 x 446 x 434 mm |
重量 |
22-27 kg 根据配置 |
四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube Neo 涡轮分子泵组的搭配
涡轮分子泵组 |
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分子泵 |
SplitFlow ® 80 |
SplitFlow ® 80 |
隔膜泵 |
MVP 015-2 DC |
MVP 030-3 DC |
电压(范围) |
110 - 240 V; 50 / 60 Hz |
|
氮气抽速 |
67 l/s |
|
前级泵在 50 Hz 时的泵送速度 |
1 m3/h |
1.8 m3/h |
极限真空 |
<1X10-7 hPa |
|
真空计 |
MPT 200 AR 或 HPT 200 AR |
|
阀门 |
EVN 116 或闸阀或全金属阀 |
PrismaPro |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
检测器 |
法拉第 Faraday (F) |
电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) |
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质量数 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
四极杆直径/长度 |
6 /125 mm |
|||||
最小检测极限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
最小检测极限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
最大工作压力 F hPa |
5X10-4 |
|||||
最大工作压力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
对临近质量数的影响*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
操作温度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作温度 电子 |
5 – 50 °C |
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烘烤温度 分析 |
300 °C |
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连接法兰 |
DN 40 CF-F |
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保压时间 |
1 ms – 16 s/amu |
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峰比值可重复性 |
± 0.5 % |
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接口 |
以太网 |
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电源电压 |
100–240 V AC,50/60 Hz |
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HiCube? RGA重量 |
25.5 - 26.2 kg |
与 HiCube RGA 比较
设计更紧凑
金属密封
配有7英寸触摸屏 和 PV MassSpec 软件
通过数字真空计监测总压力, 保护灯丝
大量的定制选项
Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA 应用场景
研发
冷冻干燥 / 冻干
真空炉
镀膜
若您需要进一步的了解 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro详细信息或讨论,
请联络上海伯东:叶女士 13918837267