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俄歇电子能谱仪 AES
上海伯东代理 ULVAC-PHI 俄歇电子能谱仪 PHI 710 适用于半导体器件, 微电子器件和材料科学等研究. SEM 像空间分辨率 ≤3 nm, AES 成分像空间分辨率 ≦8nm.
俄歇电子能谱仪 PHI 710 基本参数
SEM 像空间分辨率( 25kV ) |
≤3 nm |
AES 空間分辨率( 20kV 1nA) |
≦ 8nm |
灵敏度 |
900 kcps ( CuLMM ) @ 10 kV, 10 nA |
SEM 放大倍率 |
x45 (加速电压:3kV) 至 x 1,000,000 |
样品台可变动范围 |
X,Y 轴各±25 mm |
离子枪加速电压 |
0 至 5 kV 可变 |
离子枪光栅面积 |
最大 4 mm x 4mm |
极限真空 |
6.7 x10-8 Pa 以下 |
重量 |
主机重量 1,100 kg, 电子控制柜重量 250 kg, 隔音罩重量 820 kg |
电力 |
200-230V 交流, 单相 50A, 50/60Hz |
选配: 6个样本泊放装置, 样品冷却断裂装置, EBSD, 背散射电子探测器, 能量色散谱仪 (EDS) 等
俄歇电子能谱仪 PHI 710 特性
1.使用 CMA 同轴分析器, 同时实现高灵敏度和高传输率. 即使在低电流高空间分辨率情况下, 都可轻松的进行分析.
2. 以 20kV 加速电压和电流 1nA 进行俄歇分析, AES 空间分辨率可达 ≦8nm.
3. 在拥有所有 CMA 优点的同时, 并结合获得 AVS (美国真空协会) 设计奖的高能量分辨率功能, AES 可以进行各种纳米级区域的化学态分析.
4. Windows 兼容的简易操作和功能强大的数据处理软件
俄歇分析通过 SEM 观察确定分析位置, 再进行采谱, 成分分布成像和深度剖析. 在 SEM 观察时需要细小的聚焦电子束斑, 同时进行俄歇分析, 需要非常稳定的电子束. |
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俄歇电子能谱仪 PHI 710 应用案例
比较分析形态复杂的样本 |
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什么是俄歇电子能谱仪 AES
AES (Auger Electron Spectroscopy) 是利用电子束电离激发原子内层电子, 探测退激发过程出射的俄歇电子, 获得样品表面的组成及化学性质的分析方法. AES 不仅表面灵敏, 而且具有纳米级的空间分辨率, 因此广泛应用于半导体器件, 微电子器件和材料科学等研究.
若您需要进一步的了解 俄歇电子能谱仪 PHI 710 详细信息或讨论
请联络上海伯东: 叶女士 13918837267 ( 微信同号 )